當(dāng)鋼在滲氮的同時(shí)通入一些含氧的介質(zhì)，即可實(shí)現(xiàn)其氧氮共滲處理。處理以后的工件兼有蒸汽處理我滲氮處理的共同優(yōu)點(diǎn)。
1． 氧氮共滲的特點(diǎn)：氧氮共滲后滲層可分三個(gè)區(qū)，表面氧化膜，次表層氧化區(qū)和滲氮nitriding。表面氧化膜與次表層氧化區(qū)厚度相近，一般為2-4μm.氧氮共滲后形成多孔Fe3O4層具有良好的減摩擦性能、散熱性能及抗粘著性能。
2． 氧氮共滲介質(zhì)：氧氮共滲時(shí)一般用得較多的是不同濃度的氨水。氮原子向內(nèi)擴(kuò)散形成滲氮層，水分解形成氧原子向內(nèi)擴(kuò)散形成氧化層并在工件表面形成黑色氧化膜。
3． 氧氮共滲的主要用途： 氧氮共滲主要用于高速鋼刀具的表面處理。共滲時(shí)的溫度一般為540-590℃，時(shí)間通常為1-2小時(shí)。氨水濃度以25%-30%為宜。排氣升溫時(shí)通氨量應(yīng)大些，以利于迅速排空爐內(nèi)空氣。共滲期間通氨量應(yīng)適中，降溫及擴(kuò)散時(shí)應(yīng)減少氨的滴入量。熱處理爐可采用有1Cr18Ni9Ti不銹鋼制成爐罐的井式氮化爐代用。爐罐應(yīng)保護(hù)密封性（最好采用真空水冷橡膠密封）。爐頂應(yīng)有一臺(tái)密封循環(huán)風(fēng)扇。爐內(nèi)保持300-1000Pa的正壓.
